Buku Perpustakaan Pusat
Microlithography: process technology for ic fabrication
McGraw-Hill · 1986
Subjek
No. panggil
621.381 73 ELL m
Detail
- Penerbit
- McGraw-Hill
- Tahun
- 1986
- ISBN
- 0-07-019304-5
- Kolasi
- xix, 378 hal, ; bibl, ; ind, ; ill, ; 23 cm
- Bahasa
- English
- Klasifikasi
- 621.381 73